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為什么使用硅傳感器能夠測(cè)量差壓？
日期：2025-05-01 15:43
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摘要：
| 為什么使用硅傳感器能夠測(cè)量差壓？ | |
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硅傳感器是在單晶硅片上微加工兩個(gè)H型振子的裝置。如下圖所示，由壓力膜片通過密封液給硅膜片壓力，當(dāng)單晶硅片受到該壓力時(shí)會(huì)因差壓而變形，H型振子一個(gè)受到壓力，另一個(gè)受到拉力。  |
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